可倒料CVD系统
详细技术参数
TL1200-1200 双温区管式炉
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型号 |
TL1200-Ⅲ-CVD |
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功率 |
30KW |
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炉管尺寸 |
高纯石英管:300*1900mm(管径可选) 两边各放置一个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置 |
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外形尺(LXDXH) |
2900X950X1210 |
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电源电压 |
三相380V |
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加热元件 |
国产优质电阻丝(可选配进口瑞典Canthal A1 电阻丝) 点击进入资料下载 |
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控制方式
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采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时, 主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购) |
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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最高温度 |
温区一:1200 ℃ 温区二:1200 ℃ 温区三:1200℃ | ||||
额定温度 |
温区一:1100 ℃ 温区二:1100 ℃ 温区三:1100℃ |
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升温速率 |
≤30 ℃/ Min (可根据要求修改) |
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推荐升温速率 |
≤15℃/ Min |
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热电偶型号 |
K 型 |
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加热段长度 |
440+440+440mm |
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温度校准(选配) |
定期对管式炉进行温度校准,可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括标准热电偶,温度校准仪,补偿导线 |
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电器认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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阀门和法兰
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防爆系统 |
防爆系统由压力变送器、防爆电磁阀和宇电控制仪表组成 可在宇电控制表上设置报警压力,当炉管内压力大于等于设定的报警压力时,防爆系统会自动启动,并放出炉管内多余的气体。 防爆电磁阀由两个方向相反的单向阀组成,无论是真空还是气氛下都可以关的很好,不漏气,不回流。 压力变送器是一种将压力转换成电信号进行控制和远传的设备。 压力变送器将测压元件传感器感受到的气体参数转变成标准的电信号(如4~20mADC等),输出给控制仪表,控制仪表将接收到的电信号进行转换输出给电磁阀,电磁阀根据接收到的信号动作 压力变送器 防爆电磁阀 |
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倒料系统 |
炉体可倾斜,倾斜之后物料即可从炉管中滑下,倾斜角度30℃ |
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量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) |
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耐压 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作(使用)压力 |
0.3MPa |
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线性 |
±0.5%F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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真空系统
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电源 |
220V |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽炉管真空度可达 |
10 -1Pa |
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真空挡板阀 |
KF25 |
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型号 |
RV-4 |
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极限分压强 |
5X10-2 Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1440RPM |
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抽气速率 |
4L/S |
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电机功率 |
0.4KW |
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型号 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度测量范围 |
0.1-10 5 Pa |
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电阻硅 |
ZJ-52T |
保修期
一年保修,终身技术支持
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa
3.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
4.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由2路供气系统+TL1200-Ⅲ三温区管式炉+真空系统组成
1、电阻丝炉膛
(1)、使用真空吸附成型工艺,将加热元件嵌入固定在耐火材料内,是集发热和隔热的为一体的电热模块单元
(2)、使用温度高达1250度,具有卓越的加热效果和热稳定性
(3)、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
(4)、采用4周加热,温场更加均衡
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
电阻均匀 、 发热量均衡
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
5、不锈钢支撑架
6、认证
7、法兰
铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)