VTL1200-PECVD 立式单温区PECVD系统

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VTL1200-PECVD系统,由VTL1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。

 主要特点:

     1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

     2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

     3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

     4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

     5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

 

  这款VTL1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。  

 

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

                

           

        Kanthal A1 原丝                  国产电阻丝炉膛          VS         进口电阻丝炉膛

 

(1)、表面温度高可达1420

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

                                                                                             

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝          Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小                      温场效果好                 

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、认证

     

 

7、法兰

                                                    

铰链式法兰(选购)           可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)                 水冷法兰(选购)

                  

8、全图

 

详细技术参数

VTL1200 立式管式炉

 

 

 

型号

VTL1200-PECVD-I  

VTL1200-PECVD-II  

VTL1200-PECVD-III

 功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

  炉管尺寸

Dia 60(OD) X1200mm

Dia 80(OD) X1200mm

Dia 100(OD) X1200mm

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

              进口瑞典Canthal  A1 电阻丝    点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                  

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

         控温模式

智能PID

       断偶保护和显示

          过温保护

            过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤10℃/ Min

热电偶型号

K  型 

加热段长度

200mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

射频电源

(等离子体发生器)

 

功率输出范围

  0-500W

 

 

 

 

 

最大反射功率 

200W

工作频率

射频:13.56MHZ±0.005%

功率稳定度

  +/-0.1%

谐波分量

≤-50dbc

射频区域宽度

0-600mm 可调

匹配方式

 自动

 冷却方式

 分冷

 噪声

 <50dB

射频接口

 50Ω   N-type

输入电源 

 208-240V  50/60HZ

 

GX供气系统主要参数

 

质量流量计

 

 

量程和气体

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

 

VRD-8真空泵 

(方案一)

型号

VRD-8

极限分压强

5X10-2 Pa

进排气接口

 KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

电机功率

0.4KW

   Preiffer ACP15

       无油多级罗茨泵

 

          方案二

型号 ACP15
电源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率 14  m3/h
极限压强 0.02Torr
进、排气接口 KF25

电阻真空计

(方案一)

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)

  皮拉尼陶瓷电容真空计

  (方案二)

 

 

 

 

   

 

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa

分子泵前级真空泵TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

极限真空度(在无泄露时)

  

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

VTL1200-PECVD系统标配

描叙

数量

图片

VTL1200管式炉

1 套

 

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

        

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

1对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1 个

K型热电偶 1 个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

法兰支撑架

1 份

 

供气系统

1台                                 
VS-0.1抽气系统 1台                                       
射频电源 1台                                

                                      

卡套 4个                                       
波纹管 1支                                    
真空挡板阀 1个                           
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2个       
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 

 



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