TL1200-1200-S-C 双温区滑竿式CVD系统

  • 技术参数
  • 详细描述
  • 视频展示
  • 标准配置
  • 选配件

主要技术参数

 

TL1200-1200滑动管式炉

 

 

 

 

 

 

 

型号

TL1200-1200-H-C-I

TL1200-1200-H-C-II  

TL1200-1200-H-C-IIII

TL1200-1200-H-C-IV

 功率

3KW

3KW

4KW

4KW

  炉管尺寸

Dia60(OD)X1500mm

Dia80(OD)X1500mm

Dia100(OD)X1500mm

Dia120(OD)X1500mm

外形尺(LXDXH)

1500X450X600

1500X450X600

1500X510X650

1500X510X650

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

   进口瑞典Canthal  A1 电阻丝      点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                     

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

温区一:1200 ℃                                         温区二:1200 ℃

额定温度

温区一:1100 ℃                                         温区二:1100 ℃ 

升温速率

≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

温区一:K  型                                              温区二:K 型  

加热段长度

温区一:200mm                                          温区二:200 mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

阀门和法兰

 

GX供气系统主要参数

 

流量控制和检测采用

 

 D07-7C

质量流量计 

标准量程

采用质子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择量程和所通气体的类型)

最大工作压力

3MP

准确度

 ±1.5%

气压降

<0.01mpa< p="">

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6   1/4”

VS-0.1抽气系统

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 600X600X600

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

 

VRD-8真空泵

 

型号

VRD-8

  极限分压强

5X10-2 Pa

   进排气接口

 KF25

    电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

    电机功率

0.4KW

Perfeer ACP15

无油多级罗茨泵 

     

  (方案 二)

型号 ACP15
电源 AC100~240V    50/60HZ
功率 450W
抽、排气接口 KF25
重量 25KG
最大氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
极限真空度 0.02 Torr
抽气速率 14  m3/h

电阻真空计

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  真空度测量范围

0.1-10 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空

 (选购)

   

 

 

 

   

 

型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃< p="">

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa< p="">

前机真空泵RVP-6

(方案一)

 

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空

(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

 

TL1200-1200-H双温区4通道滑竿式CVD系统由 4路供气系统+TL1200-1200双温区滑动管式炉+抽气系统组成! 滑动式CVD系统是在双温区管式炉炉底安装一对滑轨,可用手滑动。可以达到快速升降温的目的,为取得最快加热速率,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品区。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。物料可以在真空或者惰性气体环境下的升温速率或降温速率达到100°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。

 

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

                 

           

        Kanthal A1 原丝                  国产电阻丝炉膛         VS        进口电阻丝炉膛

 

(1)、表面温度高可达1420

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

                                                                                       

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝     Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小                            温场效果好                                                                           

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、认证

     

 

7、底脚

         

 

 

       

 

 

 

 

 

描叙

数量

图片

TL1200-1200 双温区滑动管式炉

1 台

石英管60mm OD x 1500mm L

1根

不锈钢法兰

1 套

不锈钢炉钩

1 根

氧化铝炉塞

3个

高温手套

1 对

氧化铝坩埚

1 个

COM转USB接口

1 套

说明书

1 份

 

软件

1份

 

 



在线客服
  • 产品咨询产品咨询
  • 产品咨询产品咨询
  • 产品咨询产品咨询
  • 售后服务售后服务
咨询电话
  • 4008-051-061
只有专注  才能专业
销售热线: 4008-051-061
              025-83111681
              025-83693678
              13913006686
              15190487889
售后电话: 15850763891
技术支持: 13611581149
公司传真: 025-83111571
“扫码加关注有优惠哦”