4路质子流量计供( 混)气系统

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 4路质子流量计供气系统参数

 

一、概述

1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。

2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。

4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。

5.所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。

二、技术参数:

气路通道: 4

气路流量控制:质子流量控制器。

接 口: Φ6

显 示: LED

工作环境温度: 5~45℃

流量控制器: 质子流量控制器(详细技术参数请查看后面)

四氟管:Φ6外XΦ4内

压力真空表 :-0.1~0.15 MPa , 0.01 MPa/格

截 止 阀:Φ6

三、供气系统内部压力不能过大,不然容易造成漏气,只要气体能正常流出来即可。

四、供气系统的配置:

1、质子流量计:4个

2、压力表:1个

3、截止阀门:5个

4、穿板接头:5个

5、阀门接头:2个

6、钢瓶接头: 4个

7、聚四氟乙烯管:20M

8、混气罐:1个

9、炉架:1台

 

质量流量计技术参数:质子流量控制器普通型,模拟电路,橡胶密封,管状分流,不易堵塞。

主要指标:

量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(你可以任意选择量程)

准确度:±1.5% F.S

线性:±0.5~1.5% F.S

重复精度:±0.2% F.S

响应时间:10S

气压降:<0.01MPa

最大压力:3MP

工作环境温度:5~45℃

输入输出信号:0~+5.00V

电源:+15V 50mA -15V 50mA

外形尺寸:158*30*110

 



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