TL1400 高真空管式炉

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TL1400-C单温区CVD系统详细技术参数  

TL1400管式炉

 

 

 

 

 

型号

TL1400-C-I

TL1400-C-II

 TL1400-C-III

功率

4KW

4KW

6KW

炉管尺寸OD(mm)

 高纯刚玉管:60/80/100*1000mm(管径可选)

两边各放置两个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置

外形尺寸(LXDXH)

6100X490X800

610X490X800

610X550X850

电源电压

220V / 380V

相数

单相

加热元件

硅碳棒

真空炉管内真空度

8X10 -4

控制方式 

采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                      

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

炉膛材料

1800型氧化铝多晶体纤维(日本进口)

控制精度

+/- 1℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106 / 16E德国西门康

最高温度

1400℃

额定温度

1350℃

升温速率

≤20℃/分钟(可根据要求修改)

推荐升温速率

≤10℃/分

热电偶型号

 S型    

加热段长度

 300mm

温度校准(选配)

定期对管式炉进行温度校准,可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括标准热电偶,温度校准仪,补偿导线

            

真空法兰

 

 

电器认证

 

四周表面温度

≤45℃

德国Pfeiffer真空泵(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 质保期

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa

3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚

 

TL1400产品描述

管式炉以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10 -3  Pa,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

1、加热元件

                    

 

(1)、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。

(2)、m冷端长度为210mm, 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

(3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护碳棒。

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接(选购)

该炉配可有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

                  

      进口炉膛                            VS                      国产炉膛 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。

4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。

5、炉膛表面光洁、不易掉粉。

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、多款可供选择的各种法兰 (直径从25到250mm)

                           

铰链式法兰(选购)       可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)    水冷法兰(选购)

                   

 

7、认证

     

 

管式炉标准配件

描叙

数量

图片

TL1400管式炉

1套

 

刚玉管

1根

不锈钢法兰

1套

        

不锈钢炉钩

1个

氧化铝炉塞

2对

高温手套

1双

氧化铝坩埚

1个

ķ型热电偶 1个

485转换接口和软件

(选配)

1套

说明书

1本

 

 法兰支撑架

1份

                                            

高真空抽气系统 1台
卡套 4个
波纹管 1支
真空挡板阀 1个

 

 

 

 

 

 



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