VS-0.1真空恒压系统
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电源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽炉管真空度可达 |
10Pa |
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真空挡板阀 |
KF16 |
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压力恒定范围 |
0.1KPa ~ 100 KPa |
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压力控制精确度 |
+/-0.1KPa |
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压力控制方式 |
自动控制 |
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型号 |
FX16(2XZ-4B) |
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极限分压强气镇关 |
4X10-2Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1420r/min |
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水蒸气抽速率 |
500L/h |
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电机功率 |
0.55KW |
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德国Preiffer ACP15 无油多级罗茨泵 |
型号 |
Preiffer ACP15 |
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电源 |
100-220V 550W 50/60HZ |
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抽气接口 |
KF25 |
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最大抽速 |
3.8L/S |
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极限真空度(Torr) |
2.2X10 |
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最大漏率 |
< 5X10 |
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重量 |
23KG |
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压力传感器 |
最小测量单位 |
0.1KPa |
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测压范围 |
0-100.0KPa |
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对应输出信号 |
4~20mA |
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接口规格 |
KF16 |
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一、 概述
该系统（能把管式炉内的真空度抽到0.1Pa）由带KF25接口的抽气法兰（自制）、高真空挡板法（中科科仪）、电阻真空计、波纹管（中科科仪）、支架（自制）、真空泵、变速器和真空控制器组成。可以使管式炉炉管内压力在0.1-100KPa范围内任意值恒定，您给定一个值，系统会自动让压力恒定在该值，并且没有任何波动。该设备广泛的应用于石墨烯的生长、MOS2生长和需要恒定负压的二维材料的生长，并可配套于MOCVD系统。
二、工作原理：
通过真空泵变速器和真空控制器来控制抽气量的大小，而从使管式炉管内压力控制在一个恒定值。
三、详细参数：
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电源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽炉管真空度可达 |
10Pa |
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真空挡板阀 |
KF16 |
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压力恒定范围 |
0.1KPa ~ 100 KPa |
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压力控制精确度 |
+/-0.1KPa |
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压力控制方式 |
自动控制 |
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型号 |
FX16(2XZ-4B) |
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极限分压强气镇关 |
4X10-2Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1420r/min |
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水蒸气抽速率 |
500L/h |
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电机功率 |
0.55KW |
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德国Preiffer ACP15 无油多级罗茨泵 |
型号 |
Preiffer ACP15 |
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电源 |
100-220V 550W 50/60HZ |
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抽气接口 |
KF25 |
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最大抽速 |
3.8L/S |
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极限真空度(Torr) |
2.2X10 |
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最大漏率 |
< 5X10 |
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重量 |
23KG |
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压力传感器 |
最小测量单位 |
0.1KPa |
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测压范围 |
0-100.0KPa |
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对应输出信号 |
4~20mA |
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接口规格 |
KF16 |
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