2100℃钨丝定向凝固炉
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钨 丝 定 向 凝 固 炉 |
型号 | VWF-25-21-D | |
| 优点 |
1、外形紧凑，占地面积小 2、温度高，最高温度可到2100℃ 3、腔体洁净，可生长出高纯度的单晶 4、进口欧陆控温仪表，控温精度±0.1℃ 5、真空度高，配分子泵，真空度5×10-4Pa 6、操作简单，设备带有一块7寸触摸屏，可在触摸屏中设置工艺，简单便捷 |
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| 原理 |
物料在加热区熔化后，升降机构带动坩埚匀速下降，坩埚通过一个均匀下降的温度梯度场，熔融的物料晶格按照一定的顺序重新排列结晶，形成有序的晶体 |
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| 最高温度 | 2100℃ | ||
| 加热原件 | 高纯钨网 | ||
| 有效工作尺寸 | Dia60X80mm | ||
| 保温方式 | 钨、钼、不锈钢隔热屏 | ||
| 控温模式 | 进口欧陆仪表智能PID 500段程序控温 | ||
| 升降机构 |
升降速度：0.1-2000μm/s 升降行程：0-100mm （可根据客户需要定制） 转速：0-40RPM |
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| 腔体真空度（分子泵机组） | < 5X0 -4Pa （空炉、冷态） | ||
| 工作真空度 | < X10 -3Pa （空炉） | ||
| 腔体充气压力 | 0.05MPa | ||
| 升压率 | <4Pa/小时 | ||
| 断偶保护和显示 | 有 | ||
| 过温保护 | 有 | ||
| 过流保护 | 有 | ||
| 欠压保护（水压） | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1 ℃（600度以上） | ||
| 温度检测方式 | 钨套管钨铼热电偶 | ||
| 最大升温速率 | < 20度/Min | ||
| 真空腔体内是否水冷 | 是 | ||
| 冷水机（选配） | 5P | ||
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真 空 机 组 |
机组输入电压 | 380V /220V | |
| 波纹管 | KF40X1000 | ||
| 真空挡板阀 | KF40 | ||
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分子泵
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分子泵型号 | FJ620C | |
| 输入电压 | 220V | ||
| 分子泵进气口法兰 | DN160 | ||
| 分子泵抽气速率L/S（对空气） | 600 | ||
| 分子泵极限压强（Pa) | 6×10-7 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 冷却水压（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷却水温度 | <25℃ | ||
| 环境温度 | 0~40℃ | ||
| 建议启动压强 | <10pa | ||
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前级真空泵BSV-30
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功率 | 0.75KW | |
| 电压 | 380V | ||
| 转速 | 1450rpm | ||
| 进气口径 | KF25/KF40 | ||
| 前机泵抽气速率（L/S） | 8 | ||
| 极限压强 | 4X10 -2Pa | ||
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复合真空计
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复合真空计型号 | ZDF | |
| 电源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | ||
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冷水机（选购）
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型号 |
HZ-05A |
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| 电源 |
3PH-380V/50HZ |
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| 输入总功率 | 5.9KW | ||
| 制冷量 |
11696kcal/h |
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| 水箱容量 | 80L | ||
| 扬程 | 25M | ||
| 流量 | 4m3/h | ||
| 外形尺寸 |
1150×520×1140mm |
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| 重量 | 180Kg | ||
一、设备特点及主要用途
1、基本原理与用途：在真空或气氛保护情况下熔融原料，然后匀速下降坩埚，物料在一个均匀下降的温度梯度场内重结晶，晶格按照一定的顺序重新排列，形成有序的晶体。本设备为周期作业式，按照用户要求定制。
二、结构组成
炉体、炉盖、炉底、真空系统、控制系统、冷却系统、升降机构、发热体及隔热屏等。
三、结构说明
1、炉体：为立式炉壳，其内、外层均为304不锈钢做成的圆筒，外层镜面抛光处理。内外筒与前后法兰焊成一个整体，炉体开有电极孔、抽气孔、放气孔、热电偶孔、红外孔及观察孔等，各接口的材质均为不锈钢。
2、炉盖：由内外封头和法兰焊成，中间可通水冷却，炉盖开启装置。
3、炉底：由内外封头和法兰组成，中间通水冷却，下部设有充放气孔，固定在炉体下部，设有电极引出装置。
4、升降机构：升降机构由电机、PLC、液晶屏组成。
5、发热体及隔热屏：发热元件采用高纯钨制作成网状，有效增加辐射面积，保证温区的均匀性。隔热屏采用4层钨板，6层钼板，最外层采用不锈钢板支撑。
6、真空系统：
（1）主要由直联泵、分子泵，气动挡板阀、电磁截止阀、数显复合真空计、真空管路、放气阀、支架等组成；真空管道与泵之间采用金属波纹软管快速接头联接（减缓震动）。
（2）真空主抽泵直联泵（北仪优成）、分子泵（北京科仪）。
（3）气动挡板阀（川北科技）GDQ-150 1台 GDQ-J40 2台
（4）成都正华数显真空计1台。
（5）真空管路1套，由波纹管、三通管、真空泵、两个40的真空挡板阀、接口弯管等组成（波纹管内Φ40，三通管为40标准尺寸）。
7、控制系统：
采用英国欧陆仪表具有多项功能（3204）
1、5X16段程序控温，可以分成16组程序，如果分成5组程序，每条程序为20段，可以储存多组程序、使用时可以任意调出；
2、欧陆3204具有PID控制，温度能控制得很准确；
3、具有过温保护、过流保护和断偶时电炉加热电路自动切断等功能， ,（当电炉温度超过2120度或热电偶 烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有效的保护电炉）；
4、仪表有华氏度（F）和摄氏度（C）可供选择；
5、带有485 通讯接口，具有自动停机功能。
6、仪表精度为0.2级、液晶显示屏、自定义画面。
8、水冷系统：炉体、上下端盖采用夹层水冷的结构形式，在进出水主管路上安装水压继电器及压力表，同时与控制柜连接，异常状态时报警。能够定性的观察各分水路的水流大小。整个水冷系统确保各分路回水温度不高于40℃（进水温度20℃）。水冷系统主进直径50mm、回水管直径50mm（进水压力0.4MPa）。
四、设备安装要求
1、电力：380V，三相五线制，20KW，50Hz
2、冷却水：
- 耗量： 5m3/h
- 水压：1~0.4Mpa
- 进水水温： ≤40℃
- 接口尺寸： 2寸内丝连接
3、占地面积：1200mm（长）×700mm（宽）×1600mm（高）
