6英寸石墨烯晶圆生长设备

型号

SP-6VIM

优点

1、采用立式炉体，正面开门结构，进出料方便，炉体结构紧凑，占地空间小；

2、可以50段程序控温，控温精确，可以控制升温速率和恒温时间。

3、比管式炉更安全，没有断管子的风险

4、可以在更大尺寸的晶片上生长石墨烯

5、带有三路供气系统，可在触摸屏上直接设置流量，数字显示，操作简单

6、安装有稳压系统，可把炉体内气压稳定在某一数值

7、带有气体分散系统，可将进入炉腔内的气体尽可能的分散，使反应更加均匀

8、安装有水冷机，水冷机具有欠压和断水报警，使用安全可靠。

9、采用IGBT电源，具有过温、断水保护并具有报警、输出电流显示等功能。

最大输入功率

39KW（感应电源35KW+真空泵0.75KW+冷水机3.2KW）

最高温度

1800℃

外形尺寸

铜圈尺寸

274mm(OD)X250mm(ID)X80mm(H)

石墨盘尺寸

外径160mm，壁厚2mm，内高15mm，外高25mm

石英管

250mm(OD)X240mm(ID)X450mm(H)

工作电压

三相 AC380V 50Hz

中频电源

功率

35KW

振荡频率

1~20KHZ

加热电流

10~70A

负载持续率

100%

冷却水要求

≥0.2MPa ≥6L/分

气体分散装置

多孔石英板位于石墨盘正上方，气体从上法兰进气口进来后，经过多孔石英板被分散之后与石墨盘中物料充分接触，反应更均匀

稳压系统

稳压系统由真空泵、英国欧陆控制器、宇电控制器、压力变送器、电容规等组成。

在进气量小于2000SCCM，此稳压系统可将腔体内压力控制在0~20000Pa范围内的某一数值。压力波动±1Pa

宇电控制器和压力变送器用于控制真空泵的启动和粗略真空控制，压力变送器量程-100KPa~100KPa

欧陆仪表和电容规用于精确控制真空，压力测量范围0~20000Pa

供气系统

供气系统由质量流量计，液晶屏，控制软件组成，可在液晶屏上直接输入流量数值，精准控制流量

物料升降平台

物料可以通过自动升降平台到加热区、降下来后可从炉门处拿出。

1、升降平台行程          300mm

2、升降平台升降速度     0.1um-2000um/s  

3、升降平台上下都做了限位，最大限度的保护设备

4、放料取料都很方便

不锈钢支架

不锈钢支架垂直固定在移动架子上，石英管和法兰通过支撑板固定于不锈钢支架上，非常牢固、紧凑

下真空法兰

下不锈钢法兰上带有高温硅胶O型圈，并焊接有KF25接头、KF16接口和进气阀门，KF25接头上安装有真空挡板阀，1米长波纹管连接于该阀和真空泵，KF16接口可接真空计

上真空法兰

上真空法兰安装有压力表和进气阀，法兰盖配有2种，一种带玻璃观察窗，可观察管内物料融化的情况，一种热电偶，可对物料进行程序升温

耐火材料

炉管内的耐火装置由日本三菱1900型氧化铝纤维制成，最高温度可耐1800℃，顶部开有小孔，可插入热电偶

保护装置

在炉管的四周安装有钢化玻璃和固定钢化玻璃的铝型材，可以很好的保护使用者的安全

控温系统

采用PID控制，可对物料进行程序控温加热，可同时手动调节电流输出大小，设备带有过温保护

热电偶

钨铼5/26

控温精度

+/-5℃

保护玻璃

在炉管的四周安装有钢化玻璃和固定钢化玻璃的铝型材，可以很好的保护使用者的安全

真空泵

转  速

水冷机（选购）

型  号

HZ-03A

输入总功率

3.2KW

机器尺寸

520X1150X1145(长X宽X高)

认证

质保期

1年，耗材除外

1、此款熔炼炉需在真空或气压小于0.02MPa（相对气压）的低压条件下使用；

2、若用户需要在气氛条件下进行实验，必须在进气气瓶上安装减压阀，减压阀的气压设置要小于0.02MPa，

    进气流量<200SCCM（200ml/min)

3、请您仔细阅读说明书，了解真空熔炼和惰性气体环境下熔炼的标准操作程序。在操作过程中请密切监控并正       确控制反应容器内部压力，否则，操作失败可能导致设备损坏或人身伤害

4、对样品加热时，不建议关闭抽气阀和进气阀使用。若气阀关闭对样品加热，要时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀，以防不可预见的损失

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