2200℃晶体生长炉
详细技术参数
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VIF晶体生长炉
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型号 |
VIF-2-LD |
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棒料尺寸 |
Φ25mm，长度400mm（也可定制其它尺寸） |
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最高加热温度 |
2200度 |
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高频加热电源
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采用电源 |
高频感应电源 |
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振荡频率 |
30-80KHZ |
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最大输入功率 |
70KW |
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加热电流 |
15-150A |
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冷却水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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电源重量 |
35KG |
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负载持续率 |
100% |
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输入电压 |
三相380V 50或60HZ |
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加热方式 |
感应加热 |
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腔体内直径 |
500mm |
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腔体真空度（分子泵机组） |
< 6X10 -4Pa |
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腔体充气压力 |
< 0.05MPa |
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升压率 |
<4Pa/小时 |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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欠压保护（水压） |
有 |
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控温模式 |
智能PID |
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控制精度 |
±1~ 5 ℃（600度以上） |
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温度检测方式 |
红外测温仪 |
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红外测温仪
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1、美国进口红外测温仪，特点1、响应时间快、高精度； 2、可24小时实时连续在线测温、安全、耐用； 3、激光瞄准、稳定性好、尤其适合测量高温小目标； 4、10毫秒的响应时间和±0.3%的重复性精度，保证满足您进行快速、精确测温的要求。 测温范围：1000~3200℃ |
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技术方案 |
坩埚底部带有一个8mm的孔洞，用塞杆将洞堵住，然后在坩埚中放物料，物料被加热充分熔化后，将塞杆拔出，熔化的液体从孔洞流出，跟随引杆慢慢凝固下移，形成棒材 |
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真空腔体内是否可接水冷坩埚 |
可以 |
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观察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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真空机组
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机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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真空挡板阀 |
KF40 |
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前机真空泵BSV30
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功率 |
1.1KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
8 |
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极限压强 |
5X10 -1Pa |
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复合真空计 |
复合真空计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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二级泵 为分子泵 （方案一） |
分子泵 （可以把腔体真空度抽到6X10E-4Pa）
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
220V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启动压强 |
<10Pa |
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二级泵为扩散泵
（方案二） |
扩散泵 可以把腔体真空度抽到5X10E-3Pa） |
电压 |
220V |
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功率 |
1000W |
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极限真空度（在无泄露时） |
10E-5Pa |
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进气接口 |
DN150 |
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出气接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽气速率（N2） |
1000L/S |
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水冷机（选购） HZ-03A |
电源 |
3PH-380V/50HZ |
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最大扬程 |
40M |
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最大流量 |
16L/min |
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水箱容量 |
60L |
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制冷量 |
103Kcal/h |
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出入水口 |
Rp1/2’’ |
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机器尺寸 |
1150×520×1145(长X宽X高) |
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一、设备特点
1、采用卧式炉体，侧部开门结构，进出料方便，炉体结构紧凑，占地空间较小。
2、可以50段程序控温，控温精确，可以控制升温速率和恒温时间。
3、可以方便的更换不同的线圈以满足不同大小的晶体生长。
4、安装有观察孔，可以清晰的炉内坩埚物料的情况。
5、安装有红外测温仪，可以精确的测量加热套的温度。
6、配有分子泵，真空度可达8X10-4Pa
7、安装有水冷机，水冷机具有欠压和断水报警，使用安全可靠。
8、采用IGBT电源，具有过温、断水保护并具有报警、输出电流显示等功能。
12、广泛应用于大专院校及科研单位等在真空或保护气氛条件下晶体的生长。
二、结构说明
本产品由炉盖、炉体、气氛控制系统、真空系统、IGBT 电源、控制系统、水冷系统、工作台、电控系统等组成 ，炉体、气氛控制系统、电控系统和水冷系统等组成部分都安装在设备台架上，使整个设备成为一体,炉架下安装有水平调节轮、不但可以自由的拖动，并有调节水平的功能。
1、炉体：为全304不锈钢结构，氩弧焊焊接。炉壳采用双层水冷结构，保证炉壳温度不超过40℃。炉盖采用前开门结构，炉盖打开方式为手动，并加有锁紧装置，炉盖上设有观察孔，方便观察炉内情况。炉体上安装有进出气口、与水冷机连接的进出水口和安装有连接炉体内浇注装置的进出水管。
2、炉架：由型钢钢板组焊成柜架结构，炉体安置在炉架上。
3、温控系统(选购测温元件时)：温控系统是由测温系统，温控仪表组成，炉体上配有红外测温仪，把红外测温仪输出的1-5V信号通过控温仪表转换为温度信号，控温仪表可以控制感应炉的输出功率，这样形成一个闭合回路，可以对炉子的升温进行编程控制，可以进行50段程序控温，控温精度准确，升温速率可调，并可以进行恒温，以方便控制浇铸时的温度控制。
| 名称 | 单位 | 数量 |
| 炉体 | 台 | 1 |
| 感应电源 | 套 | 1 |
| 红外测温仪 | 台 | 1 |
| 线圈 | 个 | 1 |
| 坩埚 | 个 | 1 |
| 扩散泵 | 台 | 1 |
| 分子泵（选配） | 台 | 1 |
| 机械泵 | 台 | 1 |
| 真空阀门 | 套 | 3 |
| 水冷机（选配） | 台 | 1 |
| 触摸屏 | 台 | 1 |
| 温度控制器 | 台 | 1 |
| 旋转电极 | 套 | 1 |
| 拉锭装置 | 套 | 1 |
| 冷却装置 | 套 | 1 |
